Программа для расчета проективного пробега и страгглинга ионов в твердом теле с использованием аппроксимации В.В. Юдина
(Стр. 11-16)

Подробнее об авторах
Утамурадова Шарифа Бекмурадовна доктор физикоматематических наук, профессор; директор
Научно-исследовательский институт физики полупроводников и микроэлектроники при Национальном университете Узбекистана имени Мирзо Улугбека
Ташкент, Республика Узбекистан Муминов Рамизулла Абдуллаевич академик, доктор физико-математических наук, профессор
Физико-технический институт Научно-производственного объединения «Физика-Солнце» Академии наук Республики Узбекистан
г. Ташкент, Республика Узбекистан Дыскин Валерий Григорьевич доктор философских наук; старший научный сотрудник
Институт материаловедения Научно-производственного объединения «Физика-Солнце» Академии наук Республики Узбекистан
Ташкент, Республика Узбекистан Тукфатуллин Оскар Фаритович доктор философских наук; заведующий лабораторией
Научно-исследовательский институт физики полупроводников и микроэлектроники при Национальном университете Узбекистана имени Мирзо Улугбека
Ташкент, Республика Узбекистан

Нажимая на кнопку купить вы соглашаетесь с условиями договора оферты

Аннотация:
Ионная имплантация является основой многих технологических процессов электроники и микроэлектроники. Основными величинами, характеризующими внедрение ионов в твердое тело, являются: длина пробега иона до полной его остановки, среднее значение проекции полного пробега на направление движения R̅p и среднее нормальное отклонение проекции пробега ΔR̅p. Для расчета этих величин созданы компьютерные программы SRIM, TRIM, DYNE, которые требуют инсталляции на персональный компьютер и занимают большой объем жесткого диска, что не всегда оправдано в инженерной практике. В данной работе описан алгоритм простой, не требующей инсталляции, программы для вычисления R̅p и ΔR̅p. Основой алгоритма программы является теория Линхарда-Шарфа-Шиота.
Образец цитирования:
Утамурадова Ш.Б., Муминов Р.А., Дыскин В.Г., Тукфатуллин О.Ф., (2022), ПРОГРАММА ДЛЯ РАСЧЕТА ПРОЕКТИВНОГО ПРОБЕГА И СТРАГГЛИНГА ИОНОВ В ТВЕРДОМ ТЕЛЕ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ АППРОКСИМАЦИИ В.В. ЮДИНА. Computational nanotechnology, 4 => 11-16.
Список литературы:
Townsend P.D., Chandler P.J., Zhang L. Optical effects of ion implantation. Cambridge University Press, 1994. 293 p.
Мейер Дж., Эриксон Л., Дэвис Дж. Ионное легирование полупроводников. М.: Мир, 1973. 296 с.
Риссел Х., Руге И. Ионная имплантация. М.: Наука, 1983. 380 с.
Ивановский Г.Ф., Петров В.И. Ионно-плазменная обработка материалов. М.: Радио и связь. 1986. 231 с.
Козлов В.А., Козловский В.В. Легирование полупроводников радиационными дефектами при облучении протонами и α-частицами // Физика и техника полупроводников. 2001. Т. 35. Вып. 7. С. 769-795.
Степанов А.Л. Оптические свойства металлических наночастиц, синтезированных в полимере методом ионной имплантации (Обзор) // Журнал технической физики. 2004. Т. 74. Вып. 2. С. 1-12.
Степанов А.Л., Трифонов А.А., Осин Ю.Н. и др. Новая технология формирования пористого кремния имплантацией ионами металла // Современные наукоемкие технологии. 2013. № 11. С. 119-123.
Interactions of ions with matter. SRIM (The Stopping and Range of Ions in Matter) [Software]: Download SRIM-2013/Resource author and software developer J.F. Ziegler. [Electronic resource]. URL: http://www.srim.org/SRIM/SRIMLEGL.htm (data of accesses: 30.03.2022).
Гиббонс Дж. Ионное внедрение в полупроводниках. Ч. I. Теория и экспериментальные исследования распределения пробегов // ТИИЭР. 1968. Т. 56. № 3. С. 60-85.
Lindhard J., Scharff M., Schiott H.E. Range concepts and heavy ion ranges // Matematisk-fysiske Meddelelser udgivet af Det Kongelige Danske Videnskabernes Selskab. 1963. Vol. 33. No. 14. Pp. 1-43. (In English)
Юдин В.В. Аналитический расчет пробегов с использованием аппроксимированной энергетической зависимости ядерного торможения // Доклады Академии наук СССР. 1972. Т. 207. № 2. С. 325-326.
Examples for calculus & analysis. Knowledge base and set of computational algorithms [Electronic resource]. URL: http://www.wolframalpha.com/examples/mathematics/calculus-and-analysis (data of accesses: 30.03.2022).
Форсайт Д., Мальком М., Моулер К. Машинные методы математических вычислений / пер. с англ. М.: Мир, 1980. 279 с.
Шейкин Е.Г. Пробеги тяжелых ионов низких энергий в бериллии, боре, углероде и кремнии // Журнал технической физики. 1998. Т. 68. Вып. 9. С. 33-36.
Kuzmin V. Range parameters of slow gold ions implanted into light targets // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. 2009. Vol. 267. No. 16. Pp. 2657-2661.
Ключевые слова:
ион, мишень, проективный пробег, страгглинг, упругие потери энергии, неупругие потери энергии.


Статьи по теме